Raylı Sistem

Tamamı dolu olan bir FOUP yaklaşık 10 kg ağırlığında olduğundan taşıma için otomatik bir sistem gerekiyor. Applied Materials’ın üretim tesisinin tavanında taşıma için bir raylı sistem bulunuyor.

Her birinde 700 adet FOUP bulunan kapalı özel odalarda bulunan yonga plakaları, gerektiğinde robot kollar tarafından raflardan alınıp taşınabiliyor.

Silikon  plakalar özel odalarda saklanıyor

30′dan 45′e Geçiş

Yakın bir gelecekte, 30 cm’lik plakalardan, üzerinde daha çok yonga bulundurabilen 45 cm’lik plakalara geçilmesi planlanıyor.

Ancak üretim tesisindeki tüm makineler 30 cm’lik plakalarla çalışmak için tasarlandığından, her cihazın belli değişiklikler geçirmesi ve büyük bir maliyet altına girilmesi gerekiyor.